測量工件表面粗糙度時，將傳感器放在工件被測表面上，由儀器內部的驅動機構帶動傳感器沿被測表面做等速滑行，傳感器通過內置的銳利觸針感受被測表面的粗糙度，此時工件被測表面的粗糙度引起觸針產生位移，該位移使傳感器電感線圈的電感量發生變化，從而在整流器的輸出端產生與被測表面粗糙度成比例的模擬信號，此信號經過放大及電平轉換之后進入數據采集系統，DSP芯片將采集的數據進行數字濾波和參數計算，測量結果在液晶顯示器上讀出，也可在打印機上輸出，還可以與PC機進行通訊。測量表面粗糙度有以下四種方法：
　　1.干涉法：利用光波干涉原理來測量表面粗糙度。

    2.針描法：利用觸針直接在被測表面上輕輕劃過，從而測出表面粗糙度的Ra值。

    3.比較法：車間常用的方法。將被測表面對照粗糙度樣板，用肉眼判斷或借助于放大鏡、比較顯微鏡比較；也可用手摸，指甲劃動的感覺來判斷被加工表面的粗糙度。此法一般用于粗糙度參數較大的近似評定。 

    4.光切法：利用"光切原理"來測量表面粗糙度。